等離子表面處理作用OLED顯示板起到清洗、濺射和微蝕刻的成效：
       近年來，OLED已成為國內外非常受歡迎的新興平板顯示產品，這是因為OLED顯示設備有著自發(fā)光、色域廣、視角廣、反應時間短、發(fā)光效率高、工作電壓低、面板薄（厚度小于1mm，可制作大尺寸可燃曲面板，制作簡單，成本低，被稱為世紀明星平板顯示產品，與其它顯示技術相比有著很大的優(yōu)勢。隨著各種技術的突破和加工技術的成熟，它將迎來快速發(fā)展。

        等離子表面處理機主要用于OLED顯示器件生產過程中有機污染的清洗處理。plasma與材料表面的相互作用可產生3種基本現(xiàn)象：清洗、濺射和微蝕刻?；谶@三種現(xiàn)象，可以去除材料和設備表面的污染，并在表面產生有著活化性能的懸掛按鈕，以提升表面活性。加熱主要是由電子和離子對材料表面的轟擊和等離子體的管轄權引起的。加熱效應可以去除物理吸附或松散的污染。物理濺射是最常見的清潔方法。表面上的所有原子都可以去除，濺射過程中沒有選擇性，清洗可能伴隨著表面材料原子的去除，或者清洗結束時殘留有機分子。等離子表面處理濺射率取決于材料的表面性質和污染物的類型。蠟燭雕刻等離子表面處理是原子或自由基與表面污染分子發(fā)生化學反應的過程。其反應產物通常具有一定揮發(fā)性，很容易從材料表面分離。