除了氣體分子、離子和電子之外，在等離子體中還存在中性電性原子或原子團，這些原子團受到能量激發態的激發，它們是自由基，也是等離子體發出的光，在這些電性原子間的波長、能量的高低對等離子體與物體表面的相互作用起著重要作用。
自由基如原子團與物體表面反應。
      離子體中的自由基電性強，存在時間長，比離子體多。在等離子體中，自由基是揮發性很強的，它的作用主要是在化學反應過程中能量傳遞的活(化)，在激發態下自由基能量很高，易于與物體表面的分子結合，形成新的自由基。此外，當自由基與物體表面分子結合時，會釋放大量的結合能量，這將產生新的表面反應推動力，從而消(除)物體表面物質之間的化學反應。

電子與物體表面的作用
      由于電子與物體表面的碰撞，會促使吸附在表面的氣體分子分解解吸，而電子的大量碰撞則有利于產生化學反應。因為電子質量很小，所以比離子的移動速度要快得多，在等離子體處理過程中，電子比離子早到達物體表面，使表面產生負電荷，有利于引起進一步的反應。
離子與物體表面的作用
      通常指帶正電荷的陽離子的作用，它會加速沖入帶負電荷的表面，這就是我們所說的，使物體表面獲得相當大的動能，以撞擊除去表面附著的顆粒狀物質，這種現象叫做濺射，而且通過離子的沖擊力，物體表面發生化學反應的幾率會大大增加。
紫外性與物體表面的反應
      UV具有很強的光能量，能夠破壞和分解附在物體表面的分子鍵。此外，紫外線具有很強的滲透性，可以通過物體表面深度達到幾微米。總之，等離子清洗是利用等離子體內各種高能物質及活(化)作用，將附著于物體表面的污垢徹底剝離除去。