用CRF等離子體表面處理儀清洗金屬?gòu)?fù)合材料會(huì)變黃嗎？
        半導(dǎo)體包裝行業(yè)，包括集成電路、分離器件、傳感器和光電子包裝，經(jīng)常使用金屬?gòu)?fù)合材料引線框架，為了提高鍵合和塑料密封的可靠性，金屬支架一般通過(guò)等離子體清洗機(jī)處理一會(huì)，以去除表層有機(jī)化合物、污染物，提高其可焊性、粘附性。但有的時(shí)候就會(huì)發(fā)現(xiàn)，金屬支架在等離子體表層處理儀的真空環(huán)境中使用不當(dāng)，容易出現(xiàn)表層變黃、黑色、嚴(yán)重甚至燒板等現(xiàn)象。是因?yàn)榍粌?nèi)的空氣不干凈，殘余空氣中的氧分子受到刺激，氧等離子體與金屬表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成氧化的結(jié)果嗎？原因會(huì)是這樣嗎？
一、等離子體表層處理儀真空度對(duì)產(chǎn)品清洗效果和變黃的影響
        等離子體表層處理儀的真空度相關(guān)因素包括真空腔泄漏、背面真空、真空泵的泵送速度和工藝氣體的進(jìn)氣流量。真空泵泵速度快，背面真空值越低，殘留空氣越少，銅支架與空氣中氧等離子體反應(yīng)的機(jī)會(huì)越少；當(dāng)工藝氣體進(jìn)入時(shí)，等離子體可以與銅支架充分反應(yīng)，無(wú)刺激的工藝氣體可以帶走反應(yīng)，銅支架清洗效果好，不易變黃。

二、等離子體表面處理儀的電源功率對(duì)產(chǎn)品清洗效果和變黃的影響
        等離子體清洗機(jī)電源的相關(guān)因素包括能量功率大小和單位功率密度。電源功率越大，等離子體能量越高，對(duì)產(chǎn)品的表層影響越強(qiáng)；在相同功率下，加工產(chǎn)品越少，單位功率密度越大，清洗效果越好，但可能導(dǎo)致能量過(guò)大、板變黃或燒板。
三、等離子體表面處理儀電場(chǎng)分布對(duì)產(chǎn)品清洗效果和變黃的影響
       等離子體表面處理儀離子電場(chǎng)分布的相關(guān)因素包括電極結(jié)構(gòu)、氣體流向和金屬產(chǎn)品的位置。不同的處理材料、工藝要求和容量要求，電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)不同；氣體流動(dòng)形成氣場(chǎng)，影響等離子體的運(yùn)動(dòng)、反應(yīng)和均勻性；產(chǎn)品的位置會(huì)影響電場(chǎng)和氣場(chǎng)特性，導(dǎo)致能量分布不平衡，局部等離子體密度過(guò)大，燒板。
         除上述因素外，實(shí)踐證明，等離子體清洗機(jī)的處理時(shí)間、電源頻率、車(chē)輛類(lèi)型等對(duì)產(chǎn)品的處理效果和變黃也有影響。